Сравнение XY

Apr 02, 2023

Эти системы могут быть сконфигурированы и поставлены как отдельные компоненты или как комплексные интегрированные системы перемещения со специальными интерфейсами, решениями для прокладки кабелей, вакуумными вводами и оптимизированными для конкретного применения интегрированными гранитными и алюминиевыми конструкциями.

Статья из | ПИ

Высокоточные 3-осевые этапы XY-Theta (сборки XYT) имеют решающее значение во многих испытательных и производственных процессах, связанных с прецизионной лазерной обработкой, испытаниями и производством полупроводников и фотоники, а также производством медицинского оборудования. PI предлагает широкий и глубокий набор решений для интегрированных систем движения XY-Theta с промышленными контроллерами движения. Эти системы могут быть сконфигурированы и поставлены как отдельные компоненты или как комплексные интегрированные системы перемещения со специальными интерфейсами, решениями для прокладки кабелей, вакуумными вводами и оптимизированными для конкретного применения интегрированными гранитными и алюминиевыми конструкциями.

Сверхвысокопроизводительная сборка XY-Theta на основе гранита, основанная на плоском XY-предмете на воздушном подшипнике A-322 с поворотным столом на воздушном подшипнике.

Компактный низкопрофильный XY-тета-сценический блок на основе воздушных подшипников. Посмотрите на XY-воздушную несущую ступень А-311 в движении.

Инженерные группы PI обладают обширными знаниями и опытом в области технологий воздушных подшипников и многоосных систем перемещения. Сверхточная работа систем позиционирования на воздушных подшипниках, а также их износостойкость делают их идеальными решениями для полупроводниковых приложений, включающих комбинированное линейное и вращательное движение.

Специальный столик XY-Theta на основе длинноходного столика XY с воздушным подшипником A-311 и поворотного столика A-621 для вращения Theta-Z на 360°.

На изображении выше изготовленный по индивидуальному заказу низкопрофильный стол плоского XY перемещения с воздушным подшипником A-311 объединен с высокоточным поворотным столом с воздушным подшипником серии A-621 в прецизионный узел XYT.

Видео: Воздушная ступень XY-Theta на основе низкопрофильной планарной ступени XY (модель A-311) и ступени Theta-Z с воздушным подшипником с прямым приводом (модель A-623). Этот компактный 3-осевой столик хорошо подходит для высокопроизводительных лазерных, испытательных и метрологических приложений.

Когда требуется больше степеней свободы, XY-предметы можно комбинировать с низкопрофильным модулем перемещения Z-Tip-Tilt (ZTT) для формирования 5-осевых систем, таких как пластинчатый столик с 5 степенями свободы для приложений метрологии полупроводников, показанных на рис. видео ниже. Модуль ZTT также можно добавить к столикам XY-Theta для приложений движения с 6 степенями свободы.

Видео: 5-осевой стол для измерения пластин с воздушными подшипниками

В 3-осевых сценических узлах PI XY-Theta используются компоненты ACS Industrial Motion Control. ПИ-контроллеры на базе ACS используют оптимизированные конфигурации для обеспечения наилучшей производительности приложений. Сюда входят предварительно сконфигурированные системы с оптимизированной информацией о системных параметрах, готовые к работе сразу после установки, включая запуск устройства с синхронизацией движения через аппаратное обеспечение модуля управления лазером (LCM) / интерфейса управления лазером (LCI), а также функции функциональной безопасности, такие как Safe Torque. Выключенный.

Модуль управления лазером АСУ

Функция безопасного отключения крутящего момента (STO), сертифицированная по стандарту PL e/SIL 3, предоставляет машиностроителям простой и экономичный способ обеспечения безопасности оборудования. STO доступен в некоторых PI-контроллерах движения.

Во многих приложениях компактность имеет решающее значение для интеграции инструментов. Низкопрофильный линейный столик V-508/низкопрофильный поворотный столик V-610 с прямым приводом и многоосевой системой перемещения является одним из примеров легкого, высокопроизводительного трехосного узла, который имеет чрезвычайно низкий профиль, очень компактен и также технологически гибок для оптимального решения как быстрого шага, так и стабилизации, а также плавного и скоординированного сканирования с допуском ошибок в диапазоне от нанометров до микрон.

Сборка столика XY-Theta с прозрачным отверстием для прохождения света и перемещением 25x80 мм. Сборка состоит из двух компактных линейных поступательных столиков В-508 и поворотного столика с прямым приводом В-610.

Высокопроизводительные приложения промышленной автоматизации с точным перемещением обычно включают повторяющиеся движения с более высокими нагрузками и ускорениями. Здесь показанная выше сборка прецизионной автоматизации серии V-817 с поворотным столом с прямым приводом обеспечивает высокое ускорение и движение с большим рабочим циклом с помощью эффективных трехфазных линейных двигателей и моментных двигателей, обеспечивающих высокую продолжительную и пиковую силу. Жесткая конструкция сцены и конструкция из авиационного алюминиевого сплава обеспечивают жесткость, позволяющую выдерживать высокие импульсы в течение короткого времени с необходимой точностью. Прецизионные подшипники для грузовых автомобилей и рельсов обеспечивают как нагрузочные характеристики, так и длительный срок службы. Встроенный высокоскоростной поворотный столик с прямым приводом и высоким выходным крутящим моментом используется для динамического ступенчатого регулирования и сканирования.